電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的特點：

1,、射頻發(fā)生器的高壓供電回路，采用*電子技術(shù),，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈,，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度小于0.1% ,。

2,、全自動點火 氣路智能控制，實現(xiàn)軟件點火,，更方便,。

3.安全冷卻水保護、氬氣保護,、過壓,、過流,、滅弧保護更安全,。                                 
4.輸出功率自動匹配調(diào)諧，功率參數(shù)軟件程序設(shè)定,。                
5.分光器內(nèi)充氬氣,，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測量效果。

6.優(yōu)良的光學系統(tǒng),，*控制系統(tǒng),，保證峰位定位準確，信背比優(yōu)良,、極小的基體效應(yīng),。  
7.測量范圍寬， 超微量到常量的分析,動態(tài)線性范圍5—6個數(shù)量級,。
8.檢出限低,，大多數(shù)元素的檢出限可達ppb級。 
9.良好的測量精度,，穩(wěn)定性相對標準偏差RSD≤1.5%（5ppm）,，優(yōu)于國家*標準（JJG768-2005）。

技術(shù)參數(shù)

射頻發(fā)生器（RF）

(1) 電路類型：自激振蕩電路,，全自動點火,，精密高壓開關(guān)電源供電系統(tǒng)，所有功能實現(xiàn)電腦軟件控制(點火,、熄火,、功率等參數(shù)設(shè)置),；實時功率控制；自動匹配調(diào)諧,；光室恒溫,；；

(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05% 

(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1% 

(4) 輸出功率：700－1600w 

(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3% 

(6) 電磁場泄漏輻射強度：距機身300mm 電場強度E:<2V/m

進樣裝置:

(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm,，3匝 

(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管 

(3) 同軸型噴霧器外徑6mm 

(4) 雙筒形霧室外徑35mm 

(5) 氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格： 

  ①,、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) 

  ②,、 輔助氣流量計（6-60）L/h ,；(0.1-1L/min) 

  ③、 載氣流量計（6-60）L/h ,；(0.1-1L/min) 

  ④,、 載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）

        儀器內(nèi)設(shè)氬氣二次穩(wěn)壓閥（0.3MPa）

    測光裝置:

      (1) 光電倍增管規(guī)格： R212UH 

      (2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩(wěn)定性<0.05% 

      (3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A 

      (4) 信號采集為V/F交換：1mV對應(yīng)100Hz

分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm 
(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵,，刻線密度3600線/mm,，

     刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數(shù)：0.26nm 
(4) 波長范圍：190-500nm  
(5) 分辨率: ≤0.008nm 
(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：190-500nm
(7) 步進電機驅(qū)動小步距：0.0006nm 
(8) 入射狹縫：20µm   出射狹縫：25µm
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格：（78 × 105 × 16）mm 
(10) 透鏡ф30,，1：1成像

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀整機技術(shù)指標：

測量波長范圍：

180-500nm    3600L/mm光柵

測量精度（重復性）：平均相對標準偏差RSD≤1%

測量穩(wěn)定性：平均相對標準偏差RSD≤2

檢出下限：亞PPb級