真空設(shè)備產(chǎn)品分類及特點(diǎn)
真空設(shè)備產(chǎn)品可分為五大類:
(1),、真空獲得設(shè)備--產(chǎn)生、改善或維持真空的裝置,。包括各種獲得粗,、低、中,、高及超高的真空泵和真空機(jī)組,。
A、機(jī)械真空泵:旋片泵,、往復(fù)泵,、滑閥泵、羅茨泵,、分子泵和液環(huán)泵等,。
B、蒸汽流真空泵:水蒸氣噴射泵,、油增壓泵和油擴(kuò)散泵等,。
C、氣體捕集真空泵:鈦濺射離子泵,、低溫泵,、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。
D、真空機(jī)組:即由產(chǎn)生真空,、測(cè)量真空和控制真空等組件組成的各類機(jī)組,。
(2)、真空應(yīng)用設(shè)備~在真空環(huán)境下(低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)),,應(yīng)用的各種設(shè)備,。
A、真空鍍膜機(jī):蒸發(fā)鍍膜機(jī),、磁控濺射鍍膜機(jī),、離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積裝置等。
B,、真空冶煉爐:電阻爐,、電子束爐、電弧爐,、感應(yīng)爐和單晶爐等,。
C,、真空熱處理爐:淬火爐,、回火爐、退火爐,、滲碳爐,、滲氮爐和滲金屬爐等。
D,、其它真空設(shè)備:冷凍干燥設(shè)備,、蒸餾設(shè)備、提純?cè)O(shè)備,、浸漬設(shè)備,、果蔬保鮮設(shè)備、運(yùn)輸設(shè)備,、空間模擬設(shè)備,、包裝機(jī)和鋼水脫氣裝置等。
(3),、真空測(cè)量?jī)x器一測(cè)量低于一個(gè)大氣壓的氣體和蒸氣壓力的儀器,。
A、低真空計(jì)(測(cè)量范圍105---102Pa),。
B,、中真空計(jì)(測(cè)量范圍l02一l0-1Pa)。
C,、高真空計(jì)(測(cè)量范圍l0-1一10-5Pa),。
D、超高真空計(jì)(測(cè)量范圍< 10-5Pa)。
(4),、真空檢漏儀一檢測(cè)真空系統(tǒng)或元件漏孔的位置或漏率的儀器,。包括高頻火花檢漏儀、鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀等,。
(5),、真空閥門一在真空系統(tǒng)中,用于調(diào)節(jié)流量,、切斷或接通管路的元件,。包括插板閥、擋板閥,、蝶閥,、電磁閥、電磁帶放氣閥,、壓差閥,、球閥、隔膜閥和調(diào)節(jié)閥等