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真空泵使用要點
1.真空泵用于抽潔凈氣體,，不能抽有毒,、易燃、易爆,、腐蝕性氣體或者蒸汽,、化學品、溶劑及粉末等,。如易燃氣體,、含國家特殊化學品規(guī)定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體,、有機溶劑,、結晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效,。
2.進氣溫度必須低于50℃,，否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃,。 
3.抽含有水蒸汽的氣體時,，要打開氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下,。如果超過此極限,，將會縮短氣鎮(zhèn)閥壽命。 
4.真空泵不能在腐蝕性,、易燃,、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作，否則會有爆炸,、火災等危險,。 
5.不要由一兩個人移動此泵。此由專業(yè)人員搬運,、安裝,、配置、配線,、操作,、維護和檢查，否則會有觸電,、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險,。 
6.不要繼續(xù)使用已經損壞的泵，否則會有受傷,、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險,。 
7.檢查確定此泵安全接地。 
8.此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱,，zui高可能達到70℃）,。如確實需要接觸,，采取必要防護措施防止受傷。 
9.必須安裝電機保護開關,。 
10.不要刮碰進氣口與排氣口法蘭,，以免損壞法蘭口，導致真空度上不去,。 
11.在進氣口處裝截止閥,。真空泵停止后進氣口處真空度降低,，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處,，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度,，要在真空室與泵之間安裝截止閥,。
12.排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內,。