POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段數(shù)：

無(wú)限制

無(wú)限制

無(wú)限制

   操作步數(shù)：

無(wú)限制

無(wú)限制

無(wú)限制

   旋轉(zhuǎn)速度：

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋轉(zhuǎn)精度：

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋轉(zhuǎn)方向:

順時(shí)針,、逆時(shí)針,、交換擺動(dòng)

順時(shí)針，逆時(shí)針,、交換擺動(dòng)

順時(shí)針,，逆時(shí)針、交換擺動(dòng)

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

≤1500rpm時(shí)取決于負(fù)載

   旋轉(zhuǎn)時(shí)間：

無(wú)限制*, ± 0.1S steps

無(wú)限制*, ± 0.1S steps

   基片范圍:

260mm 直徑or  6? 方片

360mm 直徑or  8? 方片

460 mm直徑or350mm方片

   腔體直徑：

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸：