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當前位置：上海富瞻環(huán)?？萍加邢薰?/a>>>分析儀器>>色譜,、質譜,、光譜,、波譜>> IONOPTIKA C60-20S 離子源系統(tǒng)
| 產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 四極桿質譜 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農產品,化工,生物產業(yè),制藥/生物制藥 |
雖然所有離子束都會濺射或蝕刻，但我們的一些系統(tǒng)的表面是專為高效和快速濺射而設計的,。濺射光束有三個特點：高電流,、大光斑尺寸和寬視場。這些特性的結合意味著它們可以在大面積上盡快輸送大劑量的離子,，以優(yōu)化蝕刻速率,。
簡介：
C60-20S是一種高性能離子束,，設計用于濺射表面,，具有較小的損傷和減少的沿周濺射效應。
C60-20S在高達20 kV的電壓下工作,，可有效地濺射材料,，且損傷較小，無需重新沉積碳,。
C60是XPS,、AES和SIMS的理想升級組件，可在多種材料上均勻濺射,。
主要參數：
特點:
◇ 電流密度高,，蝕刻速度更快；
◇ 與單原子束相比,，可減少化學損傷,；
◇ 不同材料和晶體取向的濺射率一致；
◇ 閘閥,，便于快速維修,；
◇ 源壽命長；
應用領域：
◇ 聚合物的高速,、低化學損傷蝕刻,；
◇ C60離子濺射的速度比單原子束(包括氬和氙)快50倍,，同時 對底層材料造成的損害要小得多；
◇ 下圖比較了15kevC60濺射產率與15kev金,、氙鎵和氬的TRIM數據,。在相反例子中，用C60和單原子氬離子束濺射清洗PTFE薄膜,；
◇ 雖然兩種離子束都去除了表面污染,，但只有C60離子束的表 面化學性質沒有發(fā)生變化；
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