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晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌Freiberg Instruments

廠商性質生產商

所  在  地上海市

更新時間:2024-11-02 11:28:55瀏覽次數(shù):256次

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價格區(qū)間 面議 儀器種類 雙晶衍射
應用領域 綜合
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動分揀,、晶體取向,、optical notch and flat determination測定等,。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料,。

晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD


產品特點

晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動分揀、晶體取向,、optical notch and flat determination測定等,。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細介紹


產品介紹:

晶圓XRD的特點

◇  自動化的晶圓處理和分類系統(tǒng)(例如:盒到盒),。

◇  晶體取向和電阻率測量 

◇  晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度,、缺口開口角度,、直徑、平面位置和平面長度)的光學測定 

◇  未拋光的晶圓和鏡面的距離測量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口



Omega-scan方法:

◇  高的精度 

◇  測量速度: < 5秒/樣品 

◇  易于集成到工藝線中 

◇  典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,,小于< 0.001 °,。


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