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實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：
1.PSD測(cè)距原理；
2.PSD實(shí)驗(yàn)誤差測(cè)量；
3.PSD輸出信號(hào)處理實(shí)驗(yàn),；
4.PSD特性測(cè)試實(shí)驗(yàn),；
5.PSD輸出信號(hào)誤差補(bǔ)償實(shí)驗(yàn) ；
6.一維PSD光學(xué)系統(tǒng)組裝調(diào)試實(shí)驗(yàn),；
7.激光器驅(qū)動(dòng)實(shí)驗(yàn),。
實(shí)驗(yàn)儀器：
PSD位置傳感實(shí)驗(yàn)儀 型號(hào)：FMD5093
指標(biāo)：
1.半導(dǎo)體激光器：650nm，5mW,，直線驅(qū)動(dòng),，帶準(zhǔn)直調(diào)節(jié)固定架；
2.一維PSD：
光敏區(qū)：1mm*5mm,；
光譜范圍：380-1100nm,；
峰值響應(yīng)度：0./W；
位置分辨率：<0.5um,；
暗電流：10nA（Vr=5V）,；
間電阻：50K歐姆；
3.電壓表：200mV,、2V,、20V、200V,、四檔可調(diào),；測(cè)量精度：0.2%
4.升降底座：沿Z軸升降30mm；
5.二維底座：沿X軸方向平移10mm,，Z軸升降30mm,；