雙電測四探針電阻率測試儀 型號: RTS-9
采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針,、電壓探針的變換,,在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。所有這些,,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。
雙電測四探針測試儀 四探針測試儀 四探針檢測儀 雙電測四探針測定儀 雙電測四探針電阻率測試儀
是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,,通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),,把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
測量范圍 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展),;
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展),;
電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm;
電阻:10-5~105 Ω,;
雙電測四探針測試儀 四探針測試儀 四探針檢測儀 雙電測四探針測定儀 雙電測四探針電阻率測試儀
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),;
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),;
恒流源 電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV,;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ,;
精度:±0.1% ,;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性,、量程自動顯示,;
四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ,;
機械游移率:≤0.3%,;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力),;
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計算機通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃,;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾,;
無強光直射,;