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• 設備簡介

感應區(qū)熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能，一種用于材料的熔化提純,，一種用于材料的定向凝固,。
二、感應區(qū)熔及晶體生長裝置  MTQZ-15-60主要技術參數(shù)：
1,、溫度：1650℃
2,、線圈升降行程：150毫米，采用伺服電機驅動,，升降速度可調節(jié),，分為快速和慢速
3、坩堝升降行程：150毫米,，采用伺服電機驅動,，升降速度可調節(jié)，分為快速和慢速
4,、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜
5,、感應電源振蕩功率：15KW，電源電壓380V

1. 采用鎢錸熱偶監(jiān)測溫度,，通過電流調節(jié)溫度
2. 可抽真空與充保護氣氛

• 感應區(qū)熔及晶體生長裝置  MTQZ-15-60結構簡介

感應區(qū)熔及晶體生長裝置主要由感應加熱裝置,，坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置,、區(qū)熔裝置,、定向凝固裝置、真空裝置,、保護氣氛裝置,、測溫裝置、支架及操作臺裝置與可視化控制系統(tǒng)組成,。

1. 感應加熱裝置：由一臺振蕩功率15kW,，振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應加熱
2. 坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝，一種石英陶瓷保溫套,、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,，保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?/span>800℃；保溫蓋開有觀察孔,，可觀察到熔液狀態(tài),。
3. 密封石英管裝置：由一根石英管，兩套密封法蘭組成，采用硅膠密封圈密封,，局部帶水冷,，密封法蘭上帶各種接口，方便其他裝置接入,。
4. 區(qū)熔裝置：由伺服電機,、減速機、線性模組和連接塊組成,，帶動線圈沿著石英管上下移動,，速度可調節(jié)，實現(xiàn)區(qū)熔目的,。
5. 定向凝固裝置：從石英管底部密封法蘭處引入,，帶動密封結構，留有熱偶接口,，由步進電機,、減速機、線性模組和連接塊帶動坩堝實現(xiàn)上下升降目的,，實現(xiàn)定向凝固功能,。
6. 保護氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口，帶閥門和進氣接口,，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門,，并裝有安全閥，防止氣壓過高損壞元件
7. 測溫裝置：從定向凝固移動管中接入,，可直接跟石墨坩堝接觸,，測量石墨坩堝溫度，并能根據(jù)溫度手動調節(jié)高頻電源的輸出功率,。
8. 支架及操作臺裝置：采用型材與板材拼接而成，人性化設計,，操作方便,，占地空間小。
9. 可視化控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng),，實現(xiàn)可視化操作,，操作直觀方便。還可實時記錄各種實驗數(shù)據(jù)并下載到PC端,，方便用戶調整工藝數(shù)據(jù),。