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• 設備簡介

感應區(qū)熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能，一種用于材料的熔化提純,，一種用于材料的定向凝固,。
二、感應區(qū)熔及晶體生長裝置 供應全國主要技術參數(shù)：
1,、*高溫度：1650℃
2,、線圈升降行程：150毫米，采用伺服電機驅動,，升降速度可調節(jié),，分為快速和慢速
3、坩堝升降行程：150毫米,，采用伺服電機驅動,，升降速度可調節(jié)，分為快速和慢速
4,、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜
5,、感應電源振蕩功率：15KW，電源電壓380V

1. 采用鎢錸熱偶監(jiān)測溫度,，通過電流調節(jié)溫度
2. 可抽真空與充保護氣氛

• 感應區(qū)熔及晶體生長裝置 供應全國結構簡介

感應區(qū)熔及晶體生長裝置主要由感應加熱裝置,，坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置,、區(qū)熔裝置,、定向凝固裝置,、真空裝置、保護氣氛裝置,、測溫裝置,、支架及操作臺裝置與可視化控制系統(tǒng)組成。

1. 感應加熱裝置：由一臺振蕩功率15kW,，振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應加熱
2. 坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝,，一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,，保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?/span>800℃,；保溫蓋開有觀察孔，可觀察到熔液狀態(tài),。
3. 密封石英管裝置：由一根石英管，兩套密封法蘭組成,，采用硅膠密封圈密封,，局部帶水冷，密封法蘭上帶各種接口,，方便其他裝置接入,。
4. 區(qū)熔裝置：由伺服電機、減速機,、線性模組和連接塊組成,，帶動線圈沿著石英管上下移動，速度可調節(jié),，實現(xiàn)區(qū)熔目的,。
5. 定向凝固裝置：從石英管底部密封法蘭處引入，帶動密封結構,，留有熱偶接口,，由步進電機、減速機,、線性模組和連接塊帶動坩堝實現(xiàn)上下升降目的,，實現(xiàn)定向凝固功能。
6. 保護氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口,，帶閥門和進氣接口,，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門，并裝有安全閥,，防止氣壓過高損壞元件
7. 測溫裝置：從定向凝固移動管中接入,，可直接跟石墨坩堝接觸，測量石墨坩堝溫度,，并能根據溫度手動調節(jié)高頻電源的輸出功率,。
8. 支架及操作臺裝置：采用型材與板材拼接而成,，人性化設計，操作方便,，占地空間小,。
9. 可視化控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng)，實現(xiàn)可視化操作,，操作直觀方便,。還可實時記錄各種實驗數(shù)據并下載到PC端，方便用戶調整工藝數(shù)據,。