詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐 真空制粉造粒設(shè)備主要包含兩種功能,,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固,。
全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)爐 真空制粉造粒設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
1,、溫度:1650℃
2、線圈升降行程:150毫米,,采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),,升降速度可調(diào)節(jié),分為快速和慢速
3,、坩堝升降行程:150毫米,,采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),升降速度可調(diào)節(jié),,分為快速和慢速
4,、石墨坩堝尺寸:φ40*60㎜
5、感應(yīng)電源振蕩功率:15KW,,電源電壓380V
6,、采用鎢錸熱偶監(jiān)測(cè)溫度,通過電流調(diào)節(jié)溫度
7,、可抽真空與充保護(hù)氣氛
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介
主要由感應(yīng)加熱裝置,,坩堝及保溫裝置,、密封石英管裝置、區(qū)熔裝置,、定向凝固裝置、真空裝置,、保護(hù)氣氛裝置,、測(cè)溫裝置、支架及操作臺(tái)裝置與可視化控制系統(tǒng)組成,。
1,、感應(yīng)加熱裝置:由一臺(tái)振蕩功率15kW,振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應(yīng)加熱
2,、坩堝及保溫裝置:由一只石墨坩堝,,一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,,保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?00℃,;保溫蓋開 有觀察孔,可觀察到熔液狀態(tài),。
3,、密封石英管裝置:由一根石英管,兩套密封法蘭組成,,采用硅膠密封圈密封,,局部帶水冷,密封法蘭上帶各種接口,,方便其他裝置接入,。
4、區(qū)熔裝置:由伺服電機(jī),、減速機(jī),、線性模組和連接塊組成,帶動(dòng)線圈沿著石英管上下移動(dòng),,速度可調(diào)節(jié),,實(shí)現(xiàn)區(qū)熔目的。
5,、定向凝固裝置:從石英管底部密封法蘭處引入,,帶動(dòng)密封結(jié)構(gòu),留有熱偶接口,,由步進(jìn)電機(jī),、減速機(jī)、線性模組和連接塊帶動(dòng)坩堝實(shí)現(xiàn)上下 升降目的,,實(shí)現(xiàn)定向凝固功能,。
6,、保護(hù)氣氛裝置:石英管底部密封法蘭留有充氣接口,帶閥門和進(jìn)氣接口,,石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門,,并裝有安全閥,防止氣 壓過高損壞元件
7,、測(cè)溫裝置:從定向凝固移動(dòng)管中接入,,可直接跟石墨坩堝接觸,測(cè)量石墨坩堝溫度,,并能根據(jù)溫度手動(dòng)調(diào)節(jié)高頻電源的輸出功率,。
8、支架及操作臺(tái)裝置:采用型材與板材拼接而成,,人性化設(shè)計(jì),,操作方便,占地空間小,。
9,、可視化控制系統(tǒng):采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)可視化操作,,操作直觀方便,。還可實(shí)時(shí)記錄各種實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并下載到PC端,方便用戶 調(diào)整工藝數(shù)據(jù),。