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二流體噴嘴在全自動(dòng)去膠剝離機(jī)是怎么應(yīng)用的
2025-5-29 閱讀(96)
二流體噴嘴在全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中發(fā)揮重要作用，主要用于去膠單元,，采用高壓柱狀或扇狀噴嘴對(duì)晶圓表面的金屬和光刻膠進(jìn)行去除,。這種噴嘴通過(guò)高速空氣將液體擊碎,，使液體粒徑變小,，提高液體噴射效率，從而實(shí)現(xiàn)去除光刻膠的目的,。此外,，二流體噴嘴在晶圓清洗中的應(yīng)用，利用壓縮空氣與清洗液混合,，通過(guò)特殊設(shè)計(jì)的噴頭,，以高速噴射出微米級(jí)的精細(xì)霧滴,。這種的二流體噴射方式，能夠在晶圓表面產(chǎn)生高效的物理沖擊與化學(xué)作用,，從而去除光刻膠,。設(shè)備可搭載槽式浸泡單元、高壓噴淋或二流體噴淋去膠單元,、清洗及干燥單元等工藝模塊,，滿足各種品牌型號(hào)、各種厚度的正負(fù)性光阻去除及金屬剝離等工藝,。
