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什么是超高真空測量單元3B-Gauge,？
2023-5-22 閱讀(684)
什么是超高真空測量單元3B-Gauge？
為了準確測量低于10-9 Pa（高真空）的壓力，需要一種高性能的測量設(shè)備,，可以測量比要測量的壓力低幾個數(shù)量級的壓力。 迄今為止市場上的高真空測量裝置的測量極限約為10-10Pa,，因此有必要密切關(guān)注剩余電流值,。 剩余電流值僅1~2%的變化就可能導致壓力測量誤差在10-9Pa范圍內(nèi)為±10%，在10-10Pa范圍內(nèi)±100%以上,。
但是,，很難知道大多數(shù)真空設(shè)備在壓力讀數(shù)中存在較大的誤差。 此外,，在測量極限附近有兩種類型的誤差：ESD（電子刺激解吸）和除氣,，當誤差因測量元件靈敏度的變化而波動（軟X射線效應(yīng)）和誤差因剩余電流波動而波動時,。 一般來說，前者往往具有更大的影響,，因此顯示的壓力比實際低-10%或-100%,。 由于很難輕易產(chǎn)生超高真空，因此顯示低真空度可能會由于不正確的報告或判斷而導致問題,，在某些情況下會導致巨大的損失,。
作為此類問題的直接對策，可以通過充分利用電子技術(shù)來糾正剩余電流的校正,。 然而,，由于X射線限值、ESD離子,、釋氣等需要廣泛而詳細的考慮,，因此經(jīng)常進行此類校正既耗時又不切實際。 此外,，10-9 Pa 或更低的壓力測量需要測量飛安 （fA） 范圍內(nèi)的極小電流,，并且必須考慮電子方面的性能。
處理超高真空測量復雜問題的簡單,，有效的方法是使用具有足夠低剩余電流的高性能測量設(shè)備,，并且可以通過通用靜電計或現(xiàn)有的真空計控制器進行充分測量。
為了應(yīng)對這種情況,，3B-Gauge是一款具有以下革命性性能的新產(chǎn)品,，改善了過去30年來超高真空測量中仍然存在的問題。
這是一種新型的測量裝置，通過全面改進熱陰極型電離真空計中存在的“軟X射線",，電子沖擊分離（ESD）和“除氣"三個測量極限,，可以測量高達3-10 Pa的壓力。
電極嵌入由12.0%鈹銅合金的超低釋氣真空結(jié)構(gòu)制成的扁平法蘭（ICF2）中,，以實現(xiàn)低釋氣（左上圖）,。
