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非接觸式膜厚測量系統(tǒng)FF8的特點

2023-5-4　　閱讀(854)

非接觸式膜厚測量系統(tǒng)FF8的特點

特征

  1. 測量樣品的反射率（干涉波形）,，并通過FFT（快速傅里葉變換）或其他方法分析薄膜厚度值,。

  2. 除了薄膜厚度測量外，還可以測量薄膜和玻璃厚度以及折射率,。 選項包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡,、映射測量、顏色測量和組分濃度分析,。

  3. 測量數(shù)據(jù)可以保存為文件,，以后重新分析。

  4. 由于還可以制造連續(xù)測量功能,、橫移機構(gòu)和數(shù)據(jù)通信功能,，因此也可以用作在線薄膜厚度測量。

image.png

測量范圍
（分辨率）		0.01微米~50微米（0.1納米）
0.5微米~50微米（0.1納米）
1微米~200微米（0.001微米）
4微米~800微米（0.001微米）









Si02薄膜的測量示例（薄膜厚度：500nm）


乙烯基的測量示例（厚度：11μm）
氧化鋁膜的測量示例（膜厚：10μm）
印刷電路板抗蝕膜的測量示例





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