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深圳市秋山貿(mào)易有限公司
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如何解決半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)過程中清潔效果不一致出現(xiàn)的問題
2022-11-18 閱讀(973)
如何解決半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)過程中清潔效果不一致出現(xiàn)的問題
半導(dǎo)體間歇式清洗設(shè)備清洗液成分配比不穩(wěn)定，清洗效果不一致,。
我在半導(dǎo)體晶圓制造現(xiàn)場,，但我在清潔過程中遇到了一些問題,。
在批量清洗中,，有些成分會蒸發(fā),，尤其是在液體達(dá)到高溫的情況下,。
但由于是液體,，易蒸發(fā),，易起泡，普通的計量泵會造成氣鎖,。
它還要求定量,、清潔和耐腐蝕。
我們推薦具有高分配性能并且每次注射能夠注入少量 1 mL 的 CFD 型泵,。
在這種情況下,，我們推薦每次注射可注入少量 1 mL 的“CFD 型泵"。
CFD 型泵具有氣泡容易排出的結(jié)構(gòu),，因此氣泡不會留在泵內(nèi),。
此外，接液部采用氟樹脂制成,，是一款清潔度高,、耐腐蝕的泵。此外,，CFD-1T-B 型號具有 1 mL/shot 的出色分辨率,，適合保持化學(xué)溶液的成分比恒定?；谝陨显?，我們認(rèn)為“CFD型泵"可以解決半導(dǎo)體間歇式清洗設(shè)備的清洗液問題,。請考慮這個機(jī)會。
1 mL 1 shot,，高精度控制晶圓清洗液濃度化學(xué)品補(bǔ)給泵CFD
• 所有接液部件均由氟樹脂制成,，與酸、堿,、氫等化學(xué)品兼容
• 行程長度可輕松調(diào)節(jié),，每次最多可排放2.7 mL
• 泄漏傳感器是標(biāo)準(zhǔn)配置 設(shè)備
