一、概述:
半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng)，集多種測量功能一體,，可以精準(zhǔn)測量不同封裝類型功率器件（如 MOSFET、BJT,、IGBT,，以及SiC、GaN第三代半導(dǎo)體等） 的靜態(tài)參數(shù),，具有高電壓和大電流特性,、μΩ級導(dǎo)通電阻精準(zhǔn)測量、納安級漏電流測量能力等特點(diǎn),。支持高壓模式下功率器件結(jié)電容測試,， 如輸入電容、輸出電容,、反向傳輸電容等,。
二、系統(tǒng)組成
半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng),，主要包括測試主機(jī),、測 試線、測試夾具,、電腦,、上位機(jī)軟件，以及相關(guān)測試配件等構(gòu)成,。整套系統(tǒng)采??鈦科?主開發(fā)的測試主機(jī),，內(nèi)置多種規(guī)格電壓、電流,、 電容測量單元模塊,。結(jié)合專?上位機(jī)測試軟件，可根據(jù)測試項(xiàng)?需要,，設(shè)置不同的電壓,、電流等參數(shù)，以滿?不同測試需求,。測試數(shù)據(jù)可保 存與導(dǎo)出,，并可?成I‐V以及C‐V特性曲線。此外,，測試主機(jī)可與探針臺 搭配使?,，實(shí)現(xiàn)晶圓級芯?測試。
三,、半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測量系統(tǒng)的主要應(yīng)用
1,、功率半導(dǎo)體的來料檢驗(yàn)
2、功率半導(dǎo)體的靜態(tài)參數(shù)驗(yàn)證或標(biāo)定
3、實(shí)驗(yàn)室的器件評估
4,、功率半導(dǎo)體的?產(chǎn)檢驗(yàn)和篩選
5,、半導(dǎo)體器件的?藝改進(jìn)評估
6、半導(dǎo)體器件的失效分析
7,、半導(dǎo)體器件的教育科研
四,、硬件優(yōu)勢
功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)，配置有多種測量單元模塊,， 模塊化的設(shè)計(jì)測試?法靈活,，能夠極??便?戶添加或升級測量模塊， 適應(yīng)測量功率器件不斷變化的需求,。
1,、高電壓達(dá)8000V （擴(kuò)展至10kV）
2、大電流達(dá)6000A （多模塊并聯(lián)）
3,、納安級漏電流uΩ級導(dǎo)通電阻
4,、高精度測量0.1%
5、模塊化配置可添加或升級測量單元
6,、測試效率高,、自動(dòng)切換、一鍵測試
7,、兼容多種封裝根據(jù)測試需求定制夾具
五,、測試夾具
針對市面上不同封裝類型的硅基功率半導(dǎo)體，IGBT,、SiC,、MOS、 GaN等產(chǎn)品,，力鈦科提供整套測試夾具解決方案,，可用于T0單管，半橋模組等產(chǎn)品的測試,，后期可根據(jù)客戶需求來定制化相對應(yīng)封裝,。
六、軟件特點(diǎn)：
1,、測試主機(jī)內(nèi)部采用的電壓,、電流測量單元，均采用多量程設(shè)計(jì),，測試精度為0.1%
2,、柵極‐發(fā)射極，支持30V/10A脈沖電流輸出與測試,，可測試低至皮安級漏電流
3,、集電極‐發(fā)射極，支持6000A高速脈沖電流，典型上升時(shí)間為15μs,， 且具備電壓高速同步采樣功能
4,、支持8000V電壓輸出，且自帶漏電流測量功能
5,、電容特性測試包括輸入電容,、輸出電容、以及反向傳輸電容測試,，頻率支持1MHz
七、軟件界面
八,、測試器件類型及項(xiàng)目
九,、測試原理
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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