安晟RTP紅外燈管加熱管式爐爐管兩端安裝真空法蘭,，真空度用分子泵可以到10-5Torr,，機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,，可用手動滑動,。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m。為取得較快加熱,，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,，然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻,，可在樣品加熱后移動爐子到另一端,。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子,。 可選擇單設(shè)定點或30段可編程控制器,。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫,。均溫區(qū)長,，操作簡便，密封可靠,，綜合性能指標較高,，處于國內(nèi)*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼,、石英玻璃,、陶瓷管等材料。

安晟RTP紅外燈管加熱管式爐適用范圍：可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下,，對樣品進行快速熱處理,，主要應(yīng)用于院校實驗室,、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積,，不同材料快速退火,、硅化、擴散,、晶化和致密化等。