詳細介紹
安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr,。爐底安裝一對滑軌,,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/m,。為取得較快加熱,,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置,。為獲得較快冷卻,,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s,,是低成本快速熱處理的理想爐子,。 可選擇單設定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結構,,可將外表溫度降到常溫,。均溫區(qū)長,操作簡便,,密封可靠,,綜合性能指標較高,處于國內*水平,。 爐管可選擇配置耐熱鋼,、石英玻璃、陶瓷管等材料,。
安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐適用范圍:可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下,,對樣品進行快速熱處理,主要應用于院校實驗室,、工礦企業(yè)實驗室,,如:薄膜沉積,不同材料快速退火,、硅化,、擴散、晶化和致密化等,。
產品特點:
多晶纖維爐膛,,節(jié)能耐腐蝕
重量輕,、升溫速度快、節(jié)能,、省時,、耐高溫、耐腐蝕,、保溫性好,,能滿足何種快速燒結的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數,、耐高溫,、化學穩(wěn)定性好、電絕緣性好,。
雙層內膽爐殼,,配有風冷系統(tǒng),快速升降溫
整個爐體采用雙層內膽式結構,,中間有氣隙隔離,,即使爐膛溫度高達1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺,。
法蘭采用雙環(huán)密封技術
有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,,可接電阻真空計,、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
內嵌式合金電熱絲,,升溫快,,壽命長
加熱元件采用優(yōu)質內嵌式合金電熱絲,發(fā)熱效率高,、耐高溫,、抗氧化、耐腐蝕,、升溫快,、壽命長、高溫變形小,、安裝維修方便,,使用壽命長。
微電腦PID控制器,,操作簡便
操作簡便,,控溫精確、可靠,、安全多段可編程控制,,可以簡化復雜的試驗過程,真正實現自動控制和運行。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表,,爐子加熱狀態(tài)一目了然,。
最高溫度 | 1200℃(最高溫度可達1700℃) |
溫區(qū)長度 | 440mm(可根據需求定制) |
恒溫區(qū) | 260mm |
爐管尺寸 | Φ60*1500mm |
溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
控溫精度 | ± 1℃ |
溫控保護 | 具有超溫及斷偶報警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單項 50 Hz |
最大功率 | 3KW |
凈重 | 80KG |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,不掉粉,、材料保溫性能好,、反射率高、溫場均衡,,抗熱漲冷縮能力強 |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便,、可重復撤卸,,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉 |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度:1200mm |
測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
爐管材質 | 可選氣煉石英爐管,、剛玉爐管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |