詳細(xì)介紹
安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr,。爐底安裝一對滑軌,,可用手動滑動。加熱和冷卻速率最大可達(dá)100°C/m,。為取得較快加熱,,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻,,可在樣品加熱后移動爐子到另一端,。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子,。 可選擇單設(shè)定點或30段可編程控制器,。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu),可將外表溫度降到常溫,。均溫區(qū)長,,操作簡便,密封可靠,,綜合性能指標(biāo)較高,,處于國內(nèi)*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼,、石英玻璃,、陶瓷管等材料。
安晟1200℃RTP滑動式快速退火爐適用范圍:可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下,,對樣品進行快速熱處理,,主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,,如:薄膜沉積,,不同材料快速退火、硅化,、擴散,、晶化和致密化等。
產(chǎn)品特點:
多晶纖維爐膛,,節(jié)能耐腐蝕
重量輕,、升溫速度快,、節(jié)能,、省時、耐高溫,、耐腐蝕,、保溫性好,能滿足何種快速燒結(jié)的要求,。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數(shù),、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好,、電絕緣性好,。
雙層內(nèi)膽爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),快速升降溫
整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),,中間有氣隙隔離,,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺,。
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)
有效的提高了法蘭的氣氛性,,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計,、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/p>
內(nèi)嵌式合金電熱絲,,升溫快,壽命長
加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲,,發(fā)熱效率高,、耐高溫、抗氧化,、耐腐蝕,、升溫快、壽命長,、高溫變形小,、安裝維修方便,使用壽命長,。
微電腦PID控制器,,操作簡便
操作簡便,控溫精確,、可靠,、安全多段可編程控制,可以簡化復(fù)雜的試驗過程,,真正實現(xiàn)自動控制和運行,。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表,爐子加熱狀態(tài)一目了然,。
最高溫度 | 1200℃(最高溫度可達(dá)1700℃) |
溫區(qū)長度 | 440mm(可根據(jù)需求定制) |
恒溫區(qū) | 260mm |
爐管尺寸 | Φ60*1500mm |
溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
控溫精度 | ± 1℃ |
溫控保護 | 具有超溫及斷偶報警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單項 50 Hz |
最大功率 | 3KW |
凈重 | 80KG |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,,不掉粉、材料保溫性能好,、反射率高,、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強 |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭,,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封,、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,,氣密性好,、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn) |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度:1200mm |
測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
爐管材質(zhì) | 可選氣煉石英爐管,、剛玉爐管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |