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碳化硅燒結(jié)爐兩側(cè)出料,，爐膛由外至內(nèi)分別由支撐框架、碳?xì)直貙?、石墨板反射屏,、石墨棒發(fā)熱體、承料托板構(gòu)成,。
石墨發(fā)熱體通過水冷電極與外部連接,，以延長使用壽命。
發(fā)熱爐腔采用方形結(jié)構(gòu),，發(fā)熱體采用高功率電極石墨發(fā)熱,。
雙層水冷結(jié)構(gòu),可抽負(fù)壓真空,；具有真空管道接口,，增加真空破壞閥，安全氣壓閥,，充氣孔,，真空儀表、麥?zhǔn)险婵沼嫷取?nbsp;