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淺析高溫電爐在ITO靶材燒結(jié)技術(shù)上的優(yōu)勢

高溫電爐,、真空電爐在靶材燒結(jié)技術(shù)方面發(fā)揮了巨大作用，氣氛可調(diào),，電爐壓力能夠調(diào),，電爐控溫精度等等長處，國內(nèi)有的公司選用高本錢的熱等靜壓技術(shù),，該技術(shù)能夠強化壓制和燒結(jié)進程,，降低燒結(jié)溫度，避免晶粒增大,，以取得*的物理力學(xué)性能,，但存在制品出產(chǎn)本錢較高,、 出產(chǎn)周期長，且產(chǎn)品很簡單開裂,，密度低一級缺陷,。

       有的選用氣氛燒結(jié)法，在燒結(jié)進程中經(jīng)過對燒結(jié)氣氛的控制來取得高密度的ITO靶材,。氣氛燒結(jié)法能大批量接連出產(chǎn),，本錢較熱壓法低，設(shè)備投入也少,，但對ITO粉體要求較高,，還要有適宜的氣氛燒結(jié)技術(shù)。

因為需求較高氣氛壓力,，在高溫下具有一定的危險性,，燒結(jié)本錢也較高。常壓燒結(jié)是其時日本ITO靶材燒結(jié)的干流技術(shù),，也是國內(nèi)目前所竭力的方向,，一些公司正在進行這方面的實驗，還沒有公司投入實習出產(chǎn),。

整體來看,，目前國內(nèi)ITO靶材出產(chǎn)通常都選用熱等靜壓或冷等靜壓+氣氛燒結(jié)的方法 ，產(chǎn)品質(zhì)量不高,，未打破下游行業(yè)r FT—LCD的要求方針,，產(chǎn)品只限于出產(chǎn)低端的 T N導(dǎo)電玻璃和有些STN產(chǎn)品。