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高溫箱式真空氣氛爐怎么使用1準備工作
　　a,檢查電源線接觸是否良好
　　b,檢查連接線是否正常
　　c,檢查冷卻水是否正常
　　d,檢查密封性是否正常
　　e,準備所需工具：無塵紙、*,、帆布手套,、作業(yè)手套、口罩,、耐高溫手套,、石墨推車、不銹鋼托盤
　　2開爐
　　a,打開主電源開關(guān)
　　b,向爐體充氬氣至大氣壓,，打開爐體前門,，取下石墨蓋板
　　c,將輸送車開關(guān)打至OUT,，依次操作UP-FORWARD-UP-BACK-DOWN按鈕，取出,。石墨坩堝,，依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).
　　d,清爐清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
　　3裝料
　　a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,，使用限位桿確定其位置,，依次裝入硅料。
　　b,、拔出限位桿,，輸送車開關(guān)打至IN，依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN,，將坩堝裝入爐膛內(nèi),，并確定輸送車會到初始位置。
　　c,、裝入石墨蓋板,，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門
　　4抽氣
　　a,、檢查爐門是否關(guān)緊,，真空系統(tǒng)是否密封
　　b、置DP按鈕于DPON,，打開干式真空泵,，打開真空計開關(guān)P1G1，打開干式真空泵,。閥門,，開始抽氣測試泄漏率，
　　c,、當壓力表指示為50Pa是關(guān)閉真空泵閥門（非真空泵）露鋁≤1Pa/min,，打開氬氣閥門充氬氣（20L/min）。
　　加熱先打開水環(huán)泵再按RUN,，開始工藝加熱,。
　　冷卻
　　a、加熱結(jié)束后,，按工藝條件進行冷卻,；