半導(dǎo)體專用氮氣發(fā)生器(腔體保護(hù)氣，干泵吹掃氣)

型號：NITROGEN-M-100/200

Peculiar針對LC/MS氮氣流量,、純度,、壓力的特殊要求專門設(shè)計了安全、高效,、方便的半導(dǎo)體專用氮氣發(fā)生器，它可以產(chǎn)生純度高達(dá)99.5%的潔凈,、干燥氮氣，符合半導(dǎo)體行業(yè)腔體保護(hù)氣,，干泵吹掃氣要求,，包含APCI及ESI接口,。

半導(dǎo)體專用氮氣發(fā)生器(腔體保護(hù)氣,，干泵吹掃氣)主要技術(shù)參數(shù)：

◎流量：0-100/200L/min  @100psi(7bar)

◎工作環(huán)境：5C-40℃   濕度80%

◎使用最高海拔：2200m

◎露點：<-55℃

◎顆粒：<0.01μm

◎滯留液體：無

◎鄰苯二甲酸：無

◎噪聲：<47dB(A)

◎開機純化時間：30min

◎功率：8000W

◎電力要求：220V 50Hz