其突出特點(diǎn)是體積小巧,、重量輕便,，可直接安裝在機(jī)床導(dǎo)軌上，便于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)快速部署與調(diào)試,，顯著提升操作便利性,。
該儀器主要由穩(wěn)頻激光器,、干涉鏡和 6D 傳感器組成,。穩(wěn)頻激光器提供穩(wěn)定激光光源，為測(cè)量精度奠定基礎(chǔ),；干涉鏡對(duì)激光光束進(jìn)行干涉處理,，形成可用于測(cè)量的干涉信號(hào)；6D 傳感器則是核心部件,，集成分光,、測(cè)長(zhǎng),、測(cè)直線度、測(cè)角度等多重功能,，實(shí)現(xiàn)多維測(cè)量,。
穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)干涉鏡干涉后,，進(jìn)入 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡,，被分為三束功能不同的光束：
第一束光（長(zhǎng)度測(cè)量）：光束經(jīng)錐角反射棱鏡反射后，返回干涉儀與參考光束產(chǎn)生干涉并形成條紋,。光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別條紋后,，通過(guò)電子計(jì)數(shù)記錄精確長(zhǎng)度位置，可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)位移測(cè)量,。
第二束光（直線度測(cè)量）：作為直線度測(cè)量的參考光束,，構(gòu)建測(cè)量基準(zhǔn)。傳感器與參考光束的相對(duì)位移由傳感器內(nèi)的橫向光電二極管監(jiān)測(cè),，通過(guò)分析位移數(shù)據(jù)計(jì)算機(jī)床導(dǎo)軌的直線度誤差,。
第三束光（角度測(cè)量）：為傳感器內(nèi)小型光電測(cè)角儀提供參考光源。測(cè)角儀通過(guò)檢測(cè)光束角度變化,，實(shí)現(xiàn)對(duì)俯仰角和偏擺角的精確測(cè)量,，捕捉機(jī)床運(yùn)動(dòng)中的角度偏差。
在機(jī)床精度校準(zhǔn)中,，可全面測(cè)量導(dǎo)軌的直線度、垂直度,、俯仰角,、偏擺角等參數(shù)，為精度調(diào)整提供數(shù)據(jù)支撐,；適用于航空航天,、精密模具、光學(xué)元件等高精度制造領(lǐng)域,，確保零部件加工精度；還可通過(guò)定期測(cè)量,，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)床等設(shè)備的精度變化趨勢(shì),，提前發(fā)現(xiàn)潛在故障，實(shí)現(xiàn)預(yù)防性維護(hù),。
具備多維同步測(cè)量能力，可同時(shí)完成長(zhǎng)度,、直線度,、角度（俯仰角,、偏擺角）等 6 個(gè)維度的測(cè)量，大幅提高效率,；基于激光干涉原理與先進(jìn)光電檢測(cè)技術(shù),，保障高精度與穩(wěn)定性；6D 傳感器集成多種測(cè)量功能,，簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu),，降低安裝調(diào)試難度，提升數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性與一致性,。
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