真空光纖饋通采用金屬耦合的方式(高真空光纖真空饋通采用O圈密封)來實現(xiàn)更高的真空度,以滿足實驗需求,??梢詫⒐鈱?dǎo)入或?qū)С稣婵帐遥詫崿F(xiàn)超高真空的應(yīng)用場合,,例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測和薄膜吸附的檢測,。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測真空環(huán)境下,樣品的透射/吸收,,以及熒光反射等光學(xué)反應(yīng),。
光纖饋通兩端都是SMA905公接頭;可以使用匹配套管連接光纖跳線,。對于真空環(huán)境內(nèi)部的饋通面,,下方提供ADASMA兼容真空的SMA至SMA匹配套管,可用于連接兼容真空的跳線,。此轉(zhuǎn)接件由304不銹鋼制成,,用于超高真空(>10-10 Torr)系統(tǒng),且具有Ø0.063英寸(Ø1.6 mm)通孔,,作為通氣口,,以釋放內(nèi)部氣體。在真空環(huán)境中使用光纖跳線時,,請確保跳線兼容真空,。
在隔空箱和高壓應(yīng)用場合下有較好的表現(xiàn),真空度高達Z大 10^-7 mbar ,,操作溫度為200 °C(定制最高達300 °C),。
真空室要求壁厚5-40 mm,在腔體上開一個直徑12mm的圓孔即可,,注意緊貼O型圈的一面盡量光潔無劃痕,。
使用光潔度高的金屬或者玻璃腔體,使VFT在超高真空應(yīng)用場合的表現(xiàn)得到提高,。
VFT光纖過真空裝置除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用,,還是環(huán)境檢測,、藥物學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面,,可以作為配合隔空箱,、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。
VFT真空光纖饋通的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接,,可以簡單地與聞奕光電的光纖,、光源、配件共同使用,,以及公司的光譜儀等光學(xué)設(shè)備。
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