顯微光譜系統(tǒng)巧妙的把熒光,、拉曼和反射光譜測(cè)量功能集成到了一個(gè)系統(tǒng)上，實(shí)現(xiàn)顯微熒光,、拉曼和反射光譜的測(cè)量,。完整的顯微光譜測(cè)量系統(tǒng)由光譜儀、激光器,、光源,、顯微光譜測(cè)量模塊、顯微鏡,、二維掃描臺(tái)等構(gòu)成,。系統(tǒng)集成了顯微鏡功能、光譜測(cè)量功能和二維掃描MAP功能,，實(shí)現(xiàn)了顯微鏡,、光譜儀和掃描臺(tái)的結(jié)合,。
一、測(cè)量原理：
顯微光譜系統(tǒng)基于薄膜干涉,，這是一種物理現(xiàn)象：薄膜上下表面反射的光波會(huì)相互干擾,，產(chǎn)生光的干涉現(xiàn)象，進(jìn)而增強(qiáng)或減弱反射光,。當(dāng)膜的厚度是其反射光的1/4波長(zhǎng)的奇數(shù)倍時(shí),，來自兩個(gè)表面的反射光會(huì)相互抵消，因此光不會(huì)被反射,，全部透射過去了,。當(dāng)厚度是光的1/2波長(zhǎng)的倍數(shù)時(shí)，兩個(gè)反射波會(huì)互相增強(qiáng),，從而增加反射并降低透射,。因此，當(dāng)由一組波長(zhǎng)組成的白光入射到薄膜上時(shí),，某些波長(zhǎng)（顏色）的光被增強(qiáng),，而其他波長(zhǎng)則被減弱。
在這種裝置中,，光學(xué)系統(tǒng)在物體表面成一個(gè)點(diǎn)源的像,。反射回來的散射的光由同一光學(xué)系統(tǒng)收集，該光學(xué)系統(tǒng)將光點(diǎn)成像在一個(gè)針孔上,。針孔位于光電探測(cè)器的前面,。它可以過濾到達(dá)光譜儀的光線，因此也稱為“空間過濾器”,。
通過對(duì)混合的兩個(gè)波前而產(chǎn)生的干涉圖進(jìn)行光譜分析,，以計(jì)算它們各自光程中的差異。在測(cè)量厚度時(shí),，兩個(gè)波前是通過透明樣品的兩個(gè)面上的反射生成的,。在這種情況下，光程差與樣品厚度成正比,。干涉信號(hào)是頻率光譜,，根據(jù)該信號(hào)的光譜相位，計(jì)算樣品厚度（或氣隙厚度）,。
二,、產(chǎn)品應(yīng)用：
1、微流控領(lǐng)域：可以觀察和精確定位樣品區(qū)域,，并進(jìn)行熒光,、拉曼和反射光譜的測(cè)量；
2、農(nóng)業(yè)領(lǐng)域：如測(cè)量某種葉片某個(gè)區(qū)域的熒光,、拉曼或者反射光譜的強(qiáng)度分布,，研究病蟲害等；
3,、激光材料領(lǐng)域：研究材料熒光信號(hào),、拉曼信號(hào)，從而評(píng)價(jià)材料性能和參數(shù)指標(biāo),；
4,、光子晶體領(lǐng)域：如測(cè)量利用光子晶體原理制造的紡織品，測(cè)量某微小區(qū)域的顏色值,，某個(gè)較大區(qū)域的顏色分布情況等,；
5、材料研究領(lǐng)域：通過研究材料微觀區(qū)域的光譜情況,，來研究材料特性,。
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