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賀德克壓力傳感器

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賀德克壓力傳感器

賀德克壓力傳感器是檢測(cè)氣體、液體,、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱(chēng),，也包括丈量高于大氣壓的壓力計(jì)以及丈量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類(lèi)甚多,、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來(lái)表示,，但它的體積大、粗笨,、輸出非線性,。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小,、重量輕,、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用,。當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí),，其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。

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