詳細(xì)介紹
多工位多溫區(qū)真空管式爐結(jié)構(gòu)及工作原理:
該爐體分為兩部分,,上部結(jié)構(gòu)中爐管帶爐膛可翻轉(zhuǎn),下部為電控部分,;加熱元件采用硅碳棒,,爐管可采用石英管或者不銹鋼爐管,*的連接方式,,可抽真空,,通入多路不同的氣氛進(jìn)行保護(hù)。
多工位管式爐產(chǎn)品系周期作業(yè),,供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,,大專院校,科研院所等單位選用,,設(shè)備為用戶提供具體真空,、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,應(yīng)用在半導(dǎo)體,,納米技術(shù),,碳纖維等新材料新工藝領(lǐng)域薄膜沉積爐、氣相沉積爐,、納米材料爐,。
多工位多溫區(qū)真空管式爐主要特點(diǎn):
爐體可作0-180度旋轉(zhuǎn),滿足客戶不同實(shí)驗(yàn)需求,,可做橫向,、垂直、各種角度傾斜等多個(gè)工位實(shí)驗(yàn),。
不銹鋼帶閥真空法蘭和石英管,。
可在真空或氣氛下不同角度運(yùn)行
準(zhǔn)備工作:
1、設(shè)計(jì)升降溫曲線,,升溫速率不得高于10℃/分鐘,,降溫速率應(yīng)低于15℃/分鐘。
2,、清掃環(huán)境,。
3,、每周開始使用管式爐時(shí),,檢查機(jī)械泵油線處于標(biāo)線以上,拆除兩端蓋,用吸塵器清潔剛玉爐管,。
4,、將樣品舟推入剛與管爐膛中部(恒溫長度10cm)。
5,、塞上兩塊隔熱爐塞,,使第二個(gè)爐塞的末端與爐體側(cè)面平齊。
6,、裝上氣爐法蘭,,確認(rèn)密封墊落入槽中。
![](https://img69.chem17.com/4f056bc2677b2fb7e1024885401bdf99b5472fd24617fad1821c76c224eb3ac4e93ae4aebdf68534.jpg)