Xiton Photonics深紫外窄線寬納秒脈沖固體激光器系列
· 德國Xiton Photonics專注于窄線寬固體脈沖激光器及其頻率變換，其深紫外激光器尤為特色,。
· 基于1064nm/1342nm的全固態(tài)DPSS調(diào)Q激光器可通過頻率變換提供193nm、213nm,、224nm,、266nm等深紫外激光輸出及355nm、447nm,、532nm,、671nm等常規(guī)波長輸出。
· 多數(shù)Xiton激光器具備TEM00模式輸出,，保證 的聚焦性能,，適合直寫等應用；單縱?；蛘€寬性能是Xiton激光器的另一特征,，長長度確保可用于傳統(tǒng)上采用氣體激光器的計量,、全息,、光刻等應用。
· 相比傳統(tǒng)深紫外波段的氣體激光器,，固態(tài)激光器體積小,、壽命更長，維護成本更低,。
一,、IXION 193 深紫外激光器IXION 193 SLM
IXION 193 SLM是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學計量,、193 nm步進光學元件的校準或高功率ArF準分子激光器的帶寬控制等應用,。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
該系統(tǒng)的中心波長可在185至194nm的范圍內(nèi)定制,，并可在訂購時配置為固定波長,。
作為附加選項，可以將絕對光譜精度為0.001nm的高精度光譜儀集成到系統(tǒng)中,。這使得激光光譜調(diào)諧的控制具有最高的精度,。
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