Horiba Z514,、Z512高精度數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
horiba Z514,、Z512數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,又稱(chēng)氣體質(zhì)量流量計(jì),。
Horibastec Z514MGX屬于SEC-500X系列,,高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,最小量程可以選擇1sccm,,精度0.25%,,多用于半導(dǎo)體設(shè)備的PEVCVD、LPCVD,、MOCVD中,。
國(guó)內(nèi)多回收、二次銷(xiāo)售,,我公司提供進(jìn)口Z514,、Z524,保修期1年,。
暢銷(xiāo)型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512,、SEC-Z522。
可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM,、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM,。
可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50,、SEC-E60,、SEC-E40MK3。
國(guó)內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32,、S300
國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212,、S600 BR222、S600 BM212,、S600 BM222,、S600 BR226、S600 BM226,、S600 CR212,、S600 CR222、S600 CR226,、S500BR212,、S500BM212