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Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體汽化器

液體混合注入,，汽化能力20g/min（TEOS）

HORIBA 是半導(dǎo)體行業(yè)高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制程,，可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點(diǎn),。無(wú)論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化，HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng),。包括：汽化器VC系列,、汽化器MV系列、汽化器VE系列,。

暢銷型號(hào)：VC-1420,、MV-1000,、MV-2000,、VE-10、VE-30.

MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化,，實(shí)現(xiàn)流量計(jì)的流量測(cè)量功能。適用于包含 “High-k"工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化,。

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)可通過(guò)使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源,。該方法可實(shí)現(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。

· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體

· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃

· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法

· 產(chǎn)生更大流量

· 汽化溫度降低

測(cè)量技術(shù) 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟,。
1. 載氣和液體在控制閥中混合,。
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化。
3. 氣體被釋放,，防止凝結(jié)成液態(tài),。

技術(shù)參數(shù)