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特征

• 大范圍控制,，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM

• 多種通訊方式及電源供給

Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

n數(shù)字式/ 模擬式通信

lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

l可與其它系列產(chǎn)品兼容

n復合氣體 / 復合量程

l可以方便的在客戶端更改對應(yīng)氣體和量程

n高精度控制： ±1.0% 設(shè)定流量.

l選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

n快速響應(yīng)：   在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時間≦1 sec

l內(nèi)置PID參數(shù),，可以調(diào)整響應(yīng)時間

n氣閥種類

l 電磁閥 (~50SLM)

l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)

n密封圈材質(zhì) ：橡膠 或 金屬

n氣路表面 ： 未經(jīng)拋光處理

n接口 ：     僅有VCR接口

nRoHS要求：   滿足RoHS要求

Horiba 質(zhì)量流量控制器 SEC-N100系列

• 高精度：±1.0% S.P. (*1)

• 1秒內(nèi)快速響應(yīng) (*1)

• 多氣體,，多量程解決方案

(*1)包括SEC-N17XR

多氣體,，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。