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Horiba Z522、Z524高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計屬于SEC-500X系列,，高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中，我公司提供進口Z514,、Z524,，保修期1年。

暢銷型號：SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512、SEC-Z522,。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40,、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28,、horiba S48 32、S300。

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212,、S600 BR222,、S600 BM212、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212,。

產(chǎn)品概述：

Horiba Z522、Z524高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計屬于SEC-500X系列,，高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進口設(shè)備的PEVCVD,、MOCVD中，國內(nèi)多回收,、二次銷售,，我公司提供進口Z514、Z524,，保修期1年,。

Horiba Z522、Z524高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點：

1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定,；
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.),；
3) 快速響應：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點),；
4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作,；
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存,；
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容；
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時進行,；
8) 氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型),；SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封),，PTFE(聚四氟乙烯),，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)。

產(chǎn)品參數(shù)：

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式
型號*1	SEC-Z512,、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全標準流量(N2 轉(zhuǎn)換流量)	1/2SCCM	10SCCM-10SLPM	10-50SLM
閥門類型	O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時的流量	≤ 2% F.S.
流量測量范圍	0-100% of F.S.
精確性*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度	5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應	≤ 1 秒:超過全流量范圍
直線性	≤ ±0.5% F.S.
反復性	≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值	≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力	450 kPa (g)
耐壓	1000 kPa (g)
外部泄漏率	≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號	0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號	0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面	地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
	F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)	316L 不銹鋼(表面拋光)
電源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信號反應	模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
	數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標準接頭*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可選1.125 inch IGS
安裝方向	自由
1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變,。 2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。 3IGS:完整氣體系統(tǒng),。 SCCM和SLM是表示氣體流量的記號,。(mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)。

本公司同時提供美國AALBORG,、美國Alicat,、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計,、質(zhì)量流量控制器,、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器,。

進口數(shù)字型號: SEC-Z514MGX,、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG,、SEC-Z516MG,。

進口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM,、SEC-N116MGM,、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM,、SEC-N142MGM,、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型：SEC-E40,、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,、SEC-E40V,、SEC-E50V，kolfoc 3760,、GFC17S,、GFC37S、GFM47S,、GFC57S,、GFC67S、GFC77S,，omega FMA1815S,。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32,。

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212,、S600 BR222,、S600 BM212、S600 BM222,、S600 BR226,、S600 BM226、S600 CR212,、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212,。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO,、LV-F30 PO,、LV-F40 PO、LV-F50 PO,、LV-F60 PO,、LV-F20 MO、LV-F40 MO,、LV-F60 MO,、LF-F20M、LF-F30M,、LF-F40M,、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P,、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P,、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P,、UN4GT,、S4MN、S4FN,，美國Valex不銹鋼管,，1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管,、1/2"EP級不銹鋼管,。

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