SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542

量程0-20SLM,、0-200SLM,，RS485通訊/0-5VDC

暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM,、SEC-Z512,、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM,、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM,、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM,。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50,、SEC-E60、SEC-E40MK3,。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32,、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222,、S600 BM212,、S600 BM222,、S600 BR226、S600 BM226,、S600 CR212、S600 CR222,、S600 CR226、S500BR212,、S500BM212

產(chǎn)品介紹：

氣體質(zhì)量流量計(jì)又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC,。

主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號到上位機(jī),。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性,、高精度的MFC,，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,，國內(nèi)多回收、二次銷售,。

我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX,、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX,、SEC-Z542MGX等,，保證全新進(jìn)口,，終身維修。

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542產(chǎn)品特點(diǎn)：

1)多種氣體及多種流量范圍,，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,，現(xiàn)場設(shè)定,；

2)超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)；

3)快速響應(yīng)：<1秒(全量程范圍內(nèi),，任意設(shè)置點(diǎn)),；

4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作；

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,，可以zui大限度地減少庫存,；

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容,；

7)可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet,、EtherCAT、CC-Link,、模擬信號,。

產(chǎn)品參數(shù)：

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變,。

*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值,。

*3IGS: 完整氣體系統(tǒng),。

*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號,。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意：

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱,、氣體量程、接口尺寸,。

如是設(shè)備備件的更換,，請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片,。