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熱式氣體質(zhì)量流量計的選項注意事項
熱式氣體質(zhì)量流量計是用于測量和控制氣體質(zhì)量流量的儀表,，區(qū)別于其它氣體流量計，不需要進行壓力和溫度修正,，直接測量氣體的質(zhì)量流量,。
一、應用領域：
1,、半導體制造行業(yè),；
2、分析儀器設備行業(yè),；
3,、各種形式的真空鍍膜設備；
4,、環(huán)境檢測與分析設備,；
5、化工、石化,、食品,、冶金、光纖熔煉等行業(yè),；
6,、特種材料表面處理裝置與燃燒；
7,、混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等,。
二、氣體質(zhì)量流量計選型的時候需要注意一下幾方面問題：
1.通過的介質(zhì),。氣體流量計適用于各種氣體,，包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例：腐蝕性氣體通過流量計的時候如果流量計沒有經(jīng)過特殊處理過,，會因為腐蝕性氣體的特性，造成密封元件等方面的故障,，從而影響到了流量計的正常使用,，因此相關特性的介質(zhì)在選型的時候需特別關注密封材料等信息，如全金屬密封,，耐氨橡膠等密封材質(zhì),。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過高所造成的爆點問題等等,。
2.量程范圍（或者稱之為流量范圍）,。在流量計選型的時候，首先要確定所需流量計的量程問題,，以HORIBAMETRON（堀場匯博?。┕井a(chǎn)品為例：公司產(chǎn)品以氮氣（N2）來標定,如用其他氣體時需要進行換算，非氮氣介質(zhì)時是以氮氣與該氣體轉換系數(shù)來換算以確定標定流量,。
3.壓力范圍,。HORIBAMETRON流量計耐壓范圍是3MPa, 壓差范圍為（0.05-0.3）MPa。3MPa以內(nèi)無需任何補償可直接安裝使用,；需注意的是有些行業(yè)需要在高壓狀態(tài)下工作,，要明確壓力范圍是否滿足。
4.接口通徑,。選擇接口時需針對管路狀況進行選擇,，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm等為主 ,。
5.供電電壓和控制,。以HORIBAMETRON流量計而言，供電電壓有±15V和24V兩種?？刂平涌谟?針和15針的,，也有9孔和15孔的。
6.通信協(xié)議,。相對于數(shù)字式流量計而言很多時候都會涉及到通信協(xié)議問題,，以 MODBUS 、Profibus,、DeviceNet為標準,，在選擇時注意協(xié)議類型。備注（某些行業(yè)在選擇流量計時模擬控制就可滿足要求）需注意,。
7．其他相關問題請詳細咨詢廠家相關技術人員,。