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TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓溫度傳感器

引言

TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測量,。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整天晶圓溫度分布,；同時(shí),，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫,，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

在半導(dǎo)體工藝中,，TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng)可用于多種應(yīng)用場景,，包括光刻、刻蝕,、薄膜沉積等,。其能夠?qū)崿F(xiàn)精確的溫度控制，從而提高工藝的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性,，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,。此外，其還可以用于廢料處理和設(shè)備維護(hù)等,，提高生產(chǎn)效率和成本效益
智測電子擁有全套傳感器生產(chǎn),、加工與檢測設(shè)備，擁有高精度溫度傳感器的生產(chǎn),、研發(fā)和產(chǎn)品定制能力,，為半導(dǎo)體裝備,、航空航天、智能制造,、高校實(shí)驗(yàn)室,、計(jì)*院所、生物技術(shù)等行業(yè)用戶提供專業(yè)的高精度測溫解決方案,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

半導(dǎo)體制造廠 Fab,，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用,。

傳感器可以定制,。

高精度多通道數(shù)據(jù)采集儀。

優(yōu)異的軟件功能,，方便數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面,，可以實(shí)現(xiàn)對晶圓溫度的實(shí)時(shí),、精確監(jiān)測。

可靠性：傳感器材料穩(wěn)定,，適應(yīng)長期運(yùn)行,，不易受到外界干擾。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準(zhǔn)確地捕捉,，確保制程的穩(wěn)定性,。

即時(shí)性：傳感器的實(shí)時(shí)性能使得生產(chǎn)線上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng)，減少生產(chǎn)過程中的溫度波動,。

TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓溫度傳感器