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TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓溫度傳感器

引言

TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量,。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布,；同時,，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫,，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

在半導(dǎo)體工藝中,，TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng)可用于多種應(yīng)用場景，包括光刻,、刻蝕,、薄膜沉積等。其能夠?qū)崿F(xiàn)精確的溫度控制,，從而提高工藝的穩(wěn)定性和準確性,，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。此外,，其還可以用于廢料處理和設(shè)備維護等,，提高生產(chǎn)效率和成本效益
智測電子擁有全套傳感器生產(chǎn)、加工與檢測設(shè)備,，擁有高精度溫度傳感器的生產(chǎn),、研發(fā)和產(chǎn)品定制能力，為半導(dǎo)體裝備,、航空航天,、智能制造、高校實驗室,、計*院所,、生物技術(shù)等行業(yè)用戶提供專業(yè)的高精度測溫解決方案。

產(chǎn)品特點

半導(dǎo)體制造廠 Fab,，PVD/CVD 部門,、RTP 部門等使用。

傳感器可以定制,。

高精度多通道數(shù)據(jù)采集儀,。

優(yōu)異的軟件功能，方便數(shù)據(jù)統(tǒng)計、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出,。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面,，可以實現(xiàn)對晶圓溫度的實時、精確監(jiān)測,。

可靠性：傳感器材料穩(wěn)定,，適應(yīng)長期運行，不易受到外界干擾,。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準確地捕捉,，確保制程的穩(wěn)定性。

即時性：傳感器的實時性能使得生產(chǎn)線上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng),，減少生產(chǎn)過程中的溫度波動,。

TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓溫度傳感器