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晶圓測溫系統(tǒng) TC Wafer晶圓硅片測溫?zé)犭娕?/span>

      TC為熱電偶的簡稱， TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量,。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布,；同時,，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫,，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面,，對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度,，以及晶圓整體的溫度分布,，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫,、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù),，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。

智測電子的高精度TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造廠 Fab,、PVD/CVD 部門,、RTP 部門等行業(yè)用戶的***。

作為一家專業(yè)的傳感器生產(chǎn)廠家,，智測電子不僅擁有全套傳感器生產(chǎn),、加工與檢測設(shè)備，還能為用戶提供定制化的解決方案,。

其產(chǎn)品優(yōu)勢在于軟件功能優(yōu)異,，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度多通道數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)統(tǒng)計,、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能,。智測電子生產(chǎn)研發(fā)的TC-Wafer晶圓測溫系統(tǒng)，其溫度范圍廣泛,，智測電子的產(chǎn)品設(shè)計考慮到了用戶的實際需求,，傳感器引線可定制，且采用了硅基膠粘劑和焊接技術(shù),，使其具有更好的性能和可靠性,。

總之,，智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術(shù)上具備優(yōu)勢，而且在服務(wù)方面也能夠為用戶提供專業(yè)的解決方案,。無論是在半導(dǎo)體裝備,、航空航天、智能制造,、高校實驗室,、計**所、生物技術(shù)等行業(yè),，智測電子都能夠為用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),，滿足用戶對高精度測溫的需求。

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