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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
高精度晶圓測溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體硅片測溫?zé)犭娕?/span>
?引言
TC為熱電偶的簡稱,， TC-WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量,。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時,，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否,，良率）
產(chǎn)品介紹
TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進(jìn)行實時測量,。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度,，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化,，獲得升溫,、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度,。
應(yīng)用領(lǐng)域
在半導(dǎo)體工藝中,，TC-Wafer高精度晶圓測溫系統(tǒng)可用于多種應(yīng)用場景，包括光刻,、刻蝕,、薄膜沉積等。其能夠?qū)崿F(xiàn)精確的溫度控制,，從而提高工藝的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性,，提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。此外，其還可以用于廢料處理和設(shè)備維護(hù)等,，提高生產(chǎn)效率和成本效益
智測電子擁有全套傳感器生產(chǎn),、加工與檢測設(shè)備，擁有高精度溫度傳感器的生產(chǎn),、研發(fā)和產(chǎn)品定制能力,，為半導(dǎo)體裝備、航空航天,、智能制造,、高校實驗室、**院所,、生物技術(shù)等行業(yè)用戶提供專業(yè)的高精度測溫解決方案,。
產(chǎn)品優(yōu)勢
高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實現(xiàn)對晶圓溫度的實時,、精確監(jiān)測,。
可靠性：傳感器材料穩(wěn)定，適應(yīng)長期運行,，不易受到外界干擾,。
高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準(zhǔn)確地捕捉，確保制程的穩(wěn)定性,。
即時性：傳感器的實時性能使得生產(chǎn)線上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng),，減少生產(chǎn)過程中的溫度波動。
高精度晶圓測溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體硅片測溫?zé)犭娕?/span>