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真空設備溫度測試及腔室內高精度測溫解決方案

閱讀:449        發(fā)布時間:2024-2-5

真空設備溫度測試及腔室內高精度測溫解決方案


在高科技制造領域,,如半導體,、光電子、航天航空等行業(yè),,對于真空設備溫度測試和腔室內溫度的精準測量十分重要,。如何確保真空腔內溫度的準確性和穩(wěn)定性,成為了許多企業(yè)的關注點,。為了解決這一問題,,我們引入了精密測溫NTC傳感器、真空貫通法蘭,、精密多通道測溫儀和溫度采集分析軟件DAQ TEMP等**技術,,構建了一個完善的腔室內高精度測溫解決方案。

產品描述:

1,、精密測溫NTC傳感器,;

2、真空貫通法蘭,;

3,、精密多通道測溫儀;

4,、溫度采集分析軟件DAQ TEMP,。

產品特點:

- 精密測溫NTC傳感器:

采用高精度NTC傳感器,可實現(xiàn)對半導體光刻設備真空系統(tǒng)的精準測溫,。傳感器敏感度高,,響應時間短,穩(wěn)定性優(yōu)良,,確保溫度測量的準確性和可靠性,。

- 真空貫通法蘭:

采用真空貫通法蘭,確保測溫設備與真空系統(tǒng)之間的**封閉,。法蘭設計合理,安裝簡便,,有效防止真空系統(tǒng)泄漏,,提高測溫儀器的穩(wěn)定性和可靠性。

- 精密多通道測溫儀:

多通道測溫儀設計精細,,可同時測量多個點位的溫度,。儀器具備高分辨率、高采樣率,、高精度等優(yōu)勢,,可滿足對光刻設備真空系統(tǒng)多個位置溫度進行精密監(jiān)測的需求。

- 溫度采集分析軟件DAQ TEMP

配備溫度采集分析軟件DAQ TEMP,,可實時監(jiān)測,、采集,、分析和記錄溫度數(shù)據(jù)。軟件界面友好,,操作簡便,,提供詳細的溫度曲線圖、數(shù)據(jù)分析等功能,,幫助用戶更好地了解和掌握真空系統(tǒng)的溫度變化,。

目標人群:

本產品適用于半導體光刻設備制造廠商、研發(fā)機構以及相關的光刻設備維護和技術服務人員,。它們可以利用本產品對光刻設備真空系統(tǒng)進行精密測溫,,有效提高設備的穩(wěn)定性和可靠性,優(yōu)化生產流程,,提升產品質量,。

通過半導體光刻設備真空系統(tǒng)精密測溫產品,您將能夠更準確地掌握光刻設備真空系統(tǒng)的溫度變化,,及時發(fā)現(xiàn)和解決溫度異常問題,,提高設備的工作效率和穩(wěn)定性。選擇我們的產品,,您將獲得高精度,、高性能的測溫解決方案,為您的光刻設備帶來更大的價值,。



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