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Dimension 掃描頭
  • Dimension 掃描頭

貨物所在地：國外

更新時間：2024-10-15 16:10:03

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( 聯(lián)系我們,，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,，謝謝?。?/p>

儀器名稱：Dimension3100原子力顯微鏡
型 號：Dimension 3100
生產(chǎn)廠家：Veeco
主要配置：
– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達(dá)到8英寸晶圓，測量區(qū)域可達(dá)到6英寸范圍,。
– 全面的表面局域電學(xué)測量模塊(SCM/CAFM/SSRM,，與Multimode共用)
Veeco D3100 Dimension Head ( AFM Scanner )

Veeco D3100 掃描頭 ( AFM Scanner )


掃描范圍：90um*90um

Dimension 3100 SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)，可用來測量直徑可達(dá)200毫米的半導(dǎo)體硅片,、刻蝕掩膜,、磁介質(zhì)、CD/DVD,、生物材料,、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性,、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力,。


儀器名稱：Dimension3100原子力顯微鏡
型         號：Dimension 3100
生產(chǎn)廠家：Veeco

主要配置：

– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達(dá)到8英寸晶圓，測量區(qū)域可達(dá)到6英寸范圍,。
– 全面的表面局域電學(xué)測量模塊(SCM/CAFM/SSRM,，與Multimode共用)

性能指標(biāo)：

同主要用途

主要用途：

– 表面形貌、成分分辨
    •   具備接觸,、輕敲等多種模式成形貌像,，XY分辨率0.25nm，Z噪聲<0.05nm
    •   摩擦力圖像,、定量相位圖像
– 表面局域電場力,、磁場力和表面電勢：
    •   電場力、磁場力圖像
    •   表面電勢可分辨表面兩點電勢差絕對值,，分辨率10mV
– 載流子濃度,、氧化層缺陷,、局域?qū)щ娦?br/>    •   掃描電容模塊(SCM)可測量dc/dV曲線，表征表面局域載流子濃度,、氧化層缺陷等
    •   導(dǎo)電原子力(CAFM) 可測量I/V曲線,，表征表面局域?qū)щ娦浴Ｆ珘悍秶?mV-12V,，電流范圍10nA-1uA
    •   掃描擴展電阻(SSRM)可測量表面電阻分布,，表征局域?qū)щ娦院洼d流子濃度等。偏壓范圍1mV-12V,，電流范圍10pA-1mA
– 納米加工
    •    可編程控制針尖動作和測量過程,，對表面進(jìn)行納米操縱、刻蝕等



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