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布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500是世界上全面的快速,，非接觸式3D表面計(jì)量自動(dòng)化臺(tái)式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的自動(dòng)傾斜光學(xué)測(cè)頭,，可以*編程并自動(dòng)測(cè)試一定角度范圍內(nèi)的表面特征,，并能減少跟蹤誤差。

滿足計(jì)量要求,，具有高Z軸分辨率和準(zhǔn)確性,，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號(hào)所有業(yè)界*的優(yōu)點(diǎn)。

借助其新的USI通用掃描模式,，本產(chǎn)品可以輕松地針對(duì)各種復(fù)雜應(yīng)用場(chǎng)景定制分析方法,。這些場(chǎng)景涵蓋了從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征,。

布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500

高級(jí)自動(dòng)化功能

專有的自動(dòng)傾斜測(cè)頭為生產(chǎn)和監(jiān)測(cè)提供了靈活性,。通過(guò)將自動(dòng)傾斜測(cè)頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實(shí)現(xiàn)了測(cè)試位置不受傾斜角度影響的測(cè)量,。進(jìn)一步結(jié)合自動(dòng)樣品臺(tái)和物鏡塔臺(tái),，使得ContourX-500非常適合“按需測(cè)量"工業(yè)要求，且占用空間小,。

先進(jìn)的臺(tái)式三維形貌計(jì)量設(shè)備

與放大倍率無(wú)關(guān)的Z軸分辨率

自動(dòng)化功能,，包含帶編碼器的XY軸樣品臺(tái)、自動(dòng)測(cè)頭傾斜和自動(dòng)亮度調(diào)整

更緊湊的氣動(dòng)減震臺(tái)設(shè)計(jì)

測(cè)量與分析功能

易于使用的界面,，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果

廣泛的自動(dòng)化功能,，可量身定制測(cè)量和分析程序

*泛的濾鏡和分析工具

滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告