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NPflex 大樣品計量檢測光學輪廓儀

針對大樣品設計的非接觸測試分析系統(tǒng)

（1）靈活測量大尺寸樣品,，滿足高難度測量角度的測量

（2）高效的三維表面信息測量

（3）垂直方向納米分辨率提供更多的細節(jié)

（4）快速獲取測量數(shù)據(jù),，測試過程迅速高效

布魯克的NPpuExXM3D表面測量系統(tǒng)為精密制造業(yè)帶來的檢測性能，實現(xiàn)更快的試產(chǎn)擴量時間,，提高了產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)力,。基于白光千涉的原理,，這套非接觸系統(tǒng)提供了諸多先進的優(yōu)點,，遠超通常接觸式坐標測量儀(CMM)和工業(yè)級探針式輪廓儀的測量技術所能提供的。這些測量優(yōu)勢包括高分辨的三維圖像,，進行快速豐富的數(shù)據(jù)采集,，幫助用戶更深入地了解部件的性能和功能。積累幾十年的干涉技術和大樣品測量儀器設計的經(jīng)驗,，NPruExM可以靈活地測量大尺寸樣品的光學測量系統(tǒng),，而且能夠高效快捷地獲得從微觀到宏觀等不同方面的樣品信息。

其靈活性表現(xiàn)在可用于測量表征更大的面型和更難測的角度

（1）創(chuàng)新性的空間 設計使得可測零件(樣品)更大(高達330毫米),、形狀更多

（2）開放式龍門,、定制的夾具和可選的旋轉(zhuǎn)測量頭可輕松測量待測部位

高效的三維表面信息測量

（1）每次測量均可獲取整個表面高度信息，用于各種分析

（2）更容易獲得更多的測量數(shù)據(jù)來幫助分析

垂直方向納米分辨率提供更多的細節(jié)

（1）干涉技術實現(xiàn)每一個測量象素點上的亞納米級別垂直分辨率

（2）工業(yè)界使用多年業(yè)已驗證的干涉技術提供具有統(tǒng)計意義的數(shù)據(jù),，為日漸苛刻的加工工藝提

供保障

測量數(shù)據(jù)的快速獲取保證了測試的迅速和高效

（1）少的樣品準備時間和測量準備時間

（2）比接觸法測量(一條線)更大的視場(一個面)獲得表面更多的數(shù)據(jù)

技術參數(shù)