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NPflex 大樣品計(jì)量檢測(cè)光學(xué)輪廓儀

針對(duì)大樣品設(shè)計(jì)的非接觸測(cè)試分析系統(tǒng)

（1）靈活測(cè)量大尺寸樣品,，滿足高難度測(cè)量角度的測(cè)量

（2）高效的三維表面信息測(cè)量

（3）垂直方向納米分辨率提供更多的細(xì)節(jié)

（4）快速獲取測(cè)量數(shù)據(jù),，測(cè)試過(guò)程迅速高效

布魯克的NPpuExXM3D表面測(cè)量系統(tǒng)為精密制造業(yè)帶來(lái)的檢測(cè)性能，實(shí)現(xiàn)更快的試產(chǎn)擴(kuò)量時(shí)間,，提高了產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)力,。基于白光千涉的原理,，這套非接觸系統(tǒng)提供了諸多先進(jìn)的優(yōu)點(diǎn),，遠(yuǎn)超通常接觸式坐標(biāo)測(cè)量?jī)x(CMM)和工業(yè)級(jí)探針式輪廓儀的測(cè)量技術(shù)所能提供的。這些測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)包括高分辨的三維圖像,，進(jìn)行快速豐富的數(shù)據(jù)采集,，幫助用戶更深入地了解部件的性能和功能。積累幾十年的干涉技術(shù)和大樣品測(cè)量?jī)x器設(shè)計(jì)的經(jīng)驗(yàn),，NPruExM可以靈活地測(cè)量大尺寸樣品的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng),，而且能夠高效快捷地獲得從微觀到宏觀等不同方面的樣品信息。

其靈活性表現(xiàn)在可用于測(cè)量表征更大的面型和更難測(cè)的角度

（1）創(chuàng)新性的空間 設(shè)計(jì)使得可測(cè)零件(樣品)更大(高達(dá)330毫米)、形狀更多

（2）開(kāi)放式龍門,、定制的夾具和可選的旋轉(zhuǎn)測(cè)量頭可輕松測(cè)量待測(cè)部位

高效的三維表面信息測(cè)量

（1）每次測(cè)量均可獲取整個(gè)表面高度信息,，用于各種分析

（2）更容易獲得更多的測(cè)量數(shù)據(jù)來(lái)幫助分析

垂直方向納米分辨率提供更多的細(xì)節(jié)

（1）干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)每一個(gè)測(cè)量象素點(diǎn)上的亞納米級(jí)別垂直分辨率

（2）工業(yè)界使用多年業(yè)已驗(yàn)證的干涉技術(shù)提供具有統(tǒng)計(jì)意義的數(shù)據(jù)，為日漸苛刻的加工工藝提

供保障

測(cè)量數(shù)據(jù)的快速獲取保證了測(cè)試的迅速和高效

（1）少的樣品準(zhǔn)備時(shí)間和測(cè)量準(zhǔn)備時(shí)間

（2）比接觸法測(cè)量(一條線)更大的視場(chǎng)(一個(gè)面)獲得表面更多的數(shù)據(jù)

技術(shù)參數(shù)