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Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀完美融合了高級(jí)表征,、可定制選項(xiàng)和易用性,,可以提供快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法,。
它的操作和分析軟件系統(tǒng)提供了更易于使用的界面和簡潔的功能,,可以訪問多種預(yù)編程濾鏡和分析工具,用于精密加工的表面,,薄膜,,半導(dǎo)體,眼科,,醫(yī)療設(shè)備,,MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測量分析。
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀滿足計(jì)量要求,,具有很好的Z軸分辨率和準(zhǔn)確性,,并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克白光干涉儀(WLl)落地式型號(hào)所具備的業(yè)界認(rèn)可的優(yōu)點(diǎn)。它對(duì)反射率從0.05%到100 %的各種表面都非常易于測量,。
Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀擁有三款型號(hào),,分別是GT100、GT200,、GT500,,它們的技術(shù)參數(shù)如下:
型號(hào) | GT100 | GT200 | GT500 |
圖片 | ![]() | ![]() | ![]() |
樣品臺(tái)區(qū)別 | 手動(dòng)樣品臺(tái) | 自動(dòng)樣品臺(tái) | 高級(jí)自動(dòng)化樣品臺(tái) |
技術(shù)參數(shù) | 掃描量程:≤10mm 垂直分辨率:<0.01nm 水平分辨率:0.38μm min(Sparrow criterion),0.13μm(with AcuityXR) 臺(tái)階高度準(zhǔn)確性:<0.75% 臺(tái)階高度重復(fù)性:<0.1% 1 sigma repeatability 掃描速度:37μm/sec(with standard camera) 樣品傾角:≤40°(shiny surfaces),,≤87°(rough surfaces) 樣品高度:≤100mm(4 in.) |
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