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                                                                                （1）應用領域

計量領域（平面平晶檢測），

半導體工業(yè)（晶片檢測）,，

大平板顯示（平面檢測）,，

手機工業(yè)（背板檢測）,

光學加工（窗口玻璃檢測），

高精度精密機械（平面元件檢測）,

LED工業(yè)（藍寶石襯底檢測）,，

數(shù)據(jù)存儲和科研院校教學儀器等多種領域,。

平面平晶、窗口玻璃,、光學平面,、金屬平面、陶瓷平面等 光滑表面面形的高精度快速測量,，90°直角棱鏡和角錐測量。

                                                              （2） 產(chǎn)品綜述

無應力平面檢測干涉儀是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種,，

它采用組合式激光干涉儀作為核心部件,，主要用于高效檢測高精度平面。

該產(chǎn)品包括光源,、主機,、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到水平, 采用更加簡便操作的俯式測量,，擁有*的測量精度和測量重復性,，

突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素,，能客觀反映被測平面全貌,。 不僅測量精度高，而且具有*的測量效率,。

此款干涉儀可廣泛應用高精度光學元件制造,、計量檢測、生物醫(yī)學,、

航空航天,、國防、微電子,、能源等眾多領域 具有廣闊的市場前景,。

                                                            （3） 參數(shù)性能