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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
100級(jí)無(wú)塵精密烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片,、砷化鎵,、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤,、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,；也適用于電子液晶顯示、LCD,、CMOS,、IS、醫(yī)藥,、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門,；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理,、老化等其他高溫試驗(yàn),。
一．100級(jí)無(wú)塵精密烘箱用途:
PVC無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵,、鈮酸鋰,、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,；也適用于電子液晶顯示,、LCD、CMOS,、IS、醫(yī)藥,、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門,；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理,、老化等其他高溫試驗(yàn),。
二．100級(jí)無(wú)塵精密烘箱特點(diǎn)：1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊,，耐高溫硅膠破緊,，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),，過(guò)濾效率99.99%,，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),，溫度場(chǎng)分布均勻,，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度,。
三．100級(jí)無(wú)塵精密烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
1.主要技術(shù)指標(biāo)：
無(wú)塵等級(jí)：Class 100; 溫度范圍： 60～ +300℃,；
溫度均勻度：200℃±4℃; 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃; 工作尺寸：W800×D600×H1300
電源：380v , 50Hz，15KW 網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理
HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度,。zui小限度控制風(fēng)速距離,。
M計(jì)裝可編程控制
1模式20步驟，zui多可做10個(gè)模式,。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定,。
簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器,。
| 型號(hào) | 溫度范圍 | 內(nèi)容積 | 其它參數(shù) | 內(nèi)尺寸 （W×H×Dmm） | 外尺寸 （W×H×Dmm） |
| PVC-178 | (RT+60)～+200℃ | 178L | 潔凈度：100級(jí) | 580×530×580 | 770×1,280×1,025 |
| PVC-380 | (RT+60)～+200℃ | 380L | 潔凈度：100級(jí) | 580×1130×580 | 770×1,880×1,025 |
| PVC-678 | (RT+60)～+200℃ | 678L | 潔凈度：100級(jí) | 800×1130×750 | 1,030×1,880×1,025 |
| PVHC-178 | (RT+60)～+300℃ | 178L | 潔凈度：100級(jí) | 580×530×580 | 770×1,280×1,025 |
| PVHC-380 | (RT+60)～+300℃ | 380L | 潔凈度：100級(jí) | 580×1,130×580 | 770×1,880×1,025 |
| PVHC-678 | (RT+60)～+300℃ | 678L | 潔凈度：100級(jí) | 800×1,130×750 | 1030×1,880×1,210 |
| PVHC-347MS | (RT+60)～+300℃ | 347L | 潔凈度：100級(jí) | 580×1,130×530 | 770×1,880×1,025 |
| PVHC-633MS | (RT+60～+300℃ | 633L | 潔凈度：100級(jí) | 800×1,130×700 | 1,030×1,880×1,210 |
2,、箱體結(jié)構(gòu)：
烘箱由箱體部分、電器控制柜,、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方,；
箱體材料：外箱采用SUS304 ,，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔,，可防止微塵,；
內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,，并經(jīng)堿性蘇打水清潔,，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304,，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染),。
3,、溫控系統(tǒng)：
采用韓國(guó)“三元”SAMWONTECH溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定,、PID自動(dòng)演算,、薄膜設(shè)定,，精確度±0.3%FS。,；
訊號(hào)來(lái)源：采用PT100熱電阻±0.5%,。
輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
4,、完善的安全保護(hù)措施：
漏電斷路器,、 控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置,、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置,、
馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器,、 門面安全開關(guān)
5,、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi))：
可程式溫控器 無(wú)紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架
注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。