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產(chǎn)品簡介
CVD管式爐采用雙層殼體結(jié)構,智能化程序控溫系統(tǒng),，可控硅控制,，控溫精度高；內(nèi)置兩個溫區(qū),，可以營造不同的溫度梯度,。雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，有效降低爐殼表面溫度,；結(jié)合我司標準真空,、混氣系統(tǒng)，可抽真空通氣氛。
詳細介紹
CVD管式爐由開啟式管式爐,、高真空分子泵系統(tǒng),、射頻電源系統(tǒng)及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成，是實驗室生長薄膜石墨烯,，金屬薄膜,，陶瓷薄膜，復合薄膜等的理想選擇,。其原理在于在真空壓力下,，加在電感線圈的射頻電場，使反應室氣體發(fā)生輝光放電,，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子,，這些電子在電場的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高,，它與氣體分子相碰撞,，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,，并發(fā)生化學反應生成介質(zhì)膜,，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走,，稱為等離子體增強化學氣相沉(PECVD),。CVD管式爐用于高校、科研院所,、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié),、氣氛還原、CVD實驗,、真空退火等,。
CVD管式爐主要功能和特點：
1、CVD管式爐內(nèi)置兩個溫區(qū),，可以營造300℃內(nèi)不同的溫度梯度,；
2、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,，控溫儀表中可以設置30段升降溫程序,，每個溫區(qū)可以單獨控溫；
3,、采用KF快速法蘭密封,，只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放,、取物料方便快捷,，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能,；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；
4,、CVD管式爐爐蓋可打開,，可以實時觀察燒結(jié)的物料狀況，并能迅速降溫,，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要,；
5、CVD管式爐爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料,，保溫性能好,，耐用，拉伸強度高,，無雜球,，純度高，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料,；
6,、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,，經(jīng)久耐用,，zui高溫度可達1200℃。
7,、預留了真空,、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng),、混氣系統(tǒng)使用,；
8、CVD管式爐預留了485轉(zhuǎn)換接口,，可通過我司軟件,，與計算機互聯(lián)，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制,、實時追蹤,、歷史記錄、輸出報表等功能,；可安裝無紙記錄裝置,，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出,。
9,、CVD管式爐上蓋開啟自動斷電，超溫報警并斷電,，漏電保護,，操作安全可靠,。
