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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
CVD-1700浮子混氣系統(tǒng)由SGL-1700真空管式爐,，HQF-Ⅲ浮子混氣系統(tǒng),，內(nèi)置測溫系統(tǒng)及真空系統(tǒng)等組成,。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1700℃,；真空泵采用雙極旋片真空泵，真空度可達到5x10-1Pa,；可實現(xiàn)不同的1~3路氣體混合；內(nèi)置測溫系統(tǒng)可實時監(jiān)測反應(yīng)管內(nèi)的溫度變化。 | |
CVD-1700浮子混氣系統(tǒng)主要功能和特點： 1,、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，zui高真空可達0.0001Pa,； 2,、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現(xiàn)負壓的精準控制； 3,、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制,；每條氣體管路均配備高壓逆止閥,，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。 4,、采用KF快速法蘭密封,，裝卸方便快捷；管路采用世界*Swagelok卡套連接,，不漏氣,； 5、超溫,、過壓時,，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用安全可靠,。 | |
CVD-1700浮子混氣系統(tǒng)主要用途： 高校,、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié),、氣氛還原,、CVD/CVI實驗，特別適用于真空鍍膜,、納米薄膜材料制備,、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所,。 | |
CVD-1700浮子混氣系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)： | |
SGL-1700真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),，有效保證外殼表面溫； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,，保溫性能好 加熱元件采用進口優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒,，表面負荷高,，大大提高了其使用壽命 |
電壓 | AC220V 50/60Hz |
功率 | 6KW |
爐管 | 采用99氧化鋁剛玉管，致密度高,，經(jīng)久耐用,，不易斷裂 尺寸：Φ40/60/80*/1000mm 4個氧化鋁管堵 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕 一個卡箍就能完成法蘭的連接,，放,、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣,、出氣,、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合,，4個密封硅膠圈等 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件：6根U型硅鉬棒 加熱區(qū)長度：280mm 恒溫區(qū)長度：100mm 工作溫度：≤1600℃ zui高溫度：1650℃ 升溫速率：≤10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 50段升降溫程序 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
HQF-Ⅲ混氣系統(tǒng) | 三路浮子流量計配置在移動工作臺上,，可以同時通入三路不同的氣體 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用聚四氟乙烯軟管，耐溫耐腐 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 流量規(guī)格：0.3~3L/min 控制精度：±5% |
低真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵,，真空度可達5x10-1 Torr 不銹鋼充油真空壓力表,，良好的抗震性 |
內(nèi)置測溫系統(tǒng) | 測溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心 法蘭密封，保證爐管的密封性 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶 |
尺寸 | 高溫爐：660*580*910mm 混氣移動工作臺：800*540*720mm |
可選配件 | HQZ混氣系統(tǒng),中,、高真空系統(tǒng),，各種剛玉坩堝，剛玉管,，計算機控制軟件,，無紙記錄儀，氧含量分析儀,，冷卻水循環(huán)機等,。 |