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CVD-1200系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2017-04-20 17:15:04瀏覽次數(shù):454

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CVD-1200系統(tǒng)由滑動(dòng)式開啟式真空管式爐,,混氣系統(tǒng),,真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,,通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體,。

詳細(xì)介紹

CVD-1200系統(tǒng)由滑動(dòng)式開啟式真空管式爐,,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成,。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,,通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體,。

技術(shù)參數(shù):

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),,有效保證外殼表面溫;

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,,保溫性能好

爐子底部裝有一對(duì)滑軌,,移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟,,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz,;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),,耐腐蝕,,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,,放,、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣,、出氣、真空抽口針閥,,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長(zhǎng)度:440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm

工作溫度:≤1150

zui高溫度:1200

升溫速率:10/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),,具有PID調(diào)節(jié),、自整定功能30段升降溫程序

測(cè)溫元件:N型熱電偶

恒溫精度:±1

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,,接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1 Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì),,壓力控制系統(tǒng)等

可選配件

混氣系統(tǒng),中,、高真空系統(tǒng),各種剛玉,、石英坩堝,,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,,無紙記錄儀,,氧含量分析儀。

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