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CVD管式爐使用過程中的注意的事項
閱讀：823 發(fā)布時間：2020-3-13
CVD管式爐使用中應(yīng)注意的事項：
1.冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱,，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大,，設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,，污染爐管,。
2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固,。
3.爐膛若采用石英管,，當(dāng)溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,，屬正常現(xiàn)象,。
4.CVD管式爐*使用或長時間不用后,，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用,，以免造成爐膛開裂,。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件 及爐襯,。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,，保持爐內(nèi)的清潔,。
1.冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱,，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大,，設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,，污染爐管,。
2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固,。
3.爐膛若采用石英管,，當(dāng)溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,，這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,，屬正常現(xiàn)象,。
4.CVD管式爐*使用或長時間不用后,，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用,，以免造成爐膛開裂,。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件 及爐襯,。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,，保持爐內(nèi)的清潔,。