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BHL-station 軟光刻站SU-8模具PDMS芯片
BHL-station 軟光刻站SU-8模具PDMS芯片
- <li class="product-code" "="" style="box-sizing: border-box; font-size: 15px; padding: 0px 0px 5px; text-align: left; position: relative; color: rgb(135, 135, 135); line-height: 1.5;">產品SKU: BHL站
- 類別: 母模,, 微細加工,, 微細加工套件
我們提供*的產品,,使您無需使用潔凈室即可直接在實驗室中進行自己的微細加工,,軟光刻,,SU8-MOLD和PDMS芯片,。
在沒有潔凈室的情況下生產SU-8模具和PDMS芯片
新裝,新裝和編組手冊,。Vous pourrez產品vos推出了無人參微流體,。
- 節(jié)省時間: 無需分包商,您可以在一天內生產芯片,。
- 易于使用: 易于安裝,,有清晰的說明
- 節(jié)省空間: 無需潔凈室:3平方米可獲得相同的結果。
- 高分辨率: 達到與進入潔凈室的分辨率相同的分辨率,。
全軟光刻和PDMS芯片站
完整的軟光刻技術產品,,無需清潔室即可生產自己的SU-8模具和PDMS芯片。
光刻站捆綁了軟光刻所需的所有儀器,,從紫外線曝光系統(tǒng)和等離子清潔器到化學熱板,,我們選擇了PDMS芯片和模具制造所需的每種儀器,。在不到24小時的時間內,直接在您的實驗室中生產芯片,,從而帶來便利并降低開發(fā)成本,。
制造過程具有很高的可復制性,可讓您生產一系列類似的芯片,。
隨附所有必要的實驗室配件(硅片,,鑷子,玻璃蓋,,培養(yǎng)皿,,一次性杯子,攪拌棒,,手術刀等...)和化學藥品(SU8,,SU8顯影劑,丙酮,,異丙醇,,粘附促進劑)。
套件組成(不詳盡)
我們的專家選擇并采用了好的儀器,,以使其與可靠的過程協(xié)同工作。
可編程旋涂機:具有可控和可重復PDMS層的高級功能,。它可以輕松地從您的PC編程,,也可以直接從操作員面板編程,振動小,,速度高達12,000 rpm,。提供晶圓對中工具。
等離子清潔劑:用于PDMS粘合,。它的真空反饋回路可以調節(jié)腔室內的真空度,,而無需手動調節(jié)。兼容3至6英寸晶圓,。
緊湊的紫外線曝光系統(tǒng):與硬(物理)或軟(接近)掩膜觸點兼容,,并具有可變的掩膜到基板距離控制功能。分辨率為2µm,。
烤箱: 前面板帶有雙金屬流體膨脹探頭溫度調節(jié)器,。
可編程熱板:4英寸晶圓上的高溫均勻性。
真空泵:真空度足以在30分鐘內將晶片保持在旋涂機卡盤上或對PDMS進行脫氣,。并且帶有所有必要的實驗室配件和化學藥品,。
應用領域
微流體,芯片實驗室,,器官芯片,,
注:楊清辰發(fā)布,。
此款產品不用于醫(yī)療,不用于臨床使用,,此產品僅用于科研使用,。