振動(dòng)傳感器NE功能型，是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器,。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路就可得到正?比于力變化的電信號(hào)輸出,。壓阻式傳感器用于壓力、拉力,、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量,、?yīng)變,、流量、真空度）的測(cè)量和控制,。

壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)

這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),，引出電極引線,。壓阻式壓力傳感器又稱(chēng)為固態(tài)壓力傳感器,，它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的,。 

硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,，直徑與厚度比約為20～60,。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋,，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對(duì)于膜片中心對(duì)稱(chēng),。 

此外,，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條,，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋,。